ZYGO ZMI-4004 应用干涉测量系统激光控制板卡

ZMI-4004 基于氦氖激光技术，提供双频稳定输出，能够实现亚纳米级分辨率的测量，适用于高精度定位和运动控制应用。设备采用高品质电子元件和制造工艺，确保在恶劣环境下也能保持稳定运行。

　　技术参数：

　　最小光功率：1.9µW

　　位置分辨率：0.31 nm

　　最大速度：±2.1 m/s

　　速度精度(σ)：0.5 nm

　　外壳类型：6U VME。

特点：

　　支持模块化设计，可扩展至64个测量轴，适合复杂的多轴测量系统。

　　可与其他ZYGO激光干涉仪系统(如ZMI系列干涉仪)兼容，形成完整的测量解决方案。

　　配备高性能信号处理功能，能够快速提供准确的测量反馈。

　　提供循环减小误差选项，自动消除非线性误差，提高测量精度。

部分型号参考：

ZYGO ZMI-4004 应用干涉测量系统激光控制板卡

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