ZYGO ZMI系列 ZMI4104 激光干涉位移测量板卡

产品作用

1. 纳米级位移 / 位置测量：接收干涉仪光信号，解算运动轴线性位移、位置偏差，给运动控制系统提供高精度位置反馈；
2. 多轴同步采集：单卡支持四轴并行测量，多卡模块化堆叠，整套系统最多扩展至 64 个测量轴，适配多自由度精密平台；
3. 非线性误差抑制：搭载专利循环误差补偿功能，自动消除干涉系统固有周期性误差，提升长期测量稳定性；
4. 高速动态测量：支持高速运动目标实时追踪，满足晶圆台、光栅、精密扫描机构的动态定位控制；

5. 系统集成接口：通过 VME 总线与上位控制器、运动控制单元对接，可配合环境补偿模块修正温湿度、气压带来的空气折射率误差，保障生产现场精度。

ZYGO ZMI系列 ZMI4104 激光干涉位移测量板卡

产品特征

• 四通道独立测量，单卡 4 轴同步采集，模块化 VME 机箱扩展，最大 64 轴系统规模；
• 亚纳米级位置分辨率，外差正交信号处理，支持高速运动下稳定高精度输出；
• 可选专利循环误差补偿，降低 DMI 干涉系统周期性非线性测量误差；
• 标准 6U VME64x 板卡规格，可直接装入工业 VME 机箱，易于集成在现有精密控制系统；
• 兼容 ZYGO 7702、7714、7724 系列激光器；
• 支持环境折射率补偿，可接入温度、气压、湿度传感器，降低现场环境漂移影响；
• 工业级稳定设计，适合持续在线计量、设备闭环定位与出厂精度标定。