Agilent 5517DL 5517系列双频氦氖激光头

♻️型号：Agilent 5517DL

✳️产品特征：

双频 He-Ne 塞曼激光设计
支持最高 1.2 m/s 高速测量
带通风壳体结构
标准光束直径 6 mm
线性偏振输出
二类激光安全等级

⏰交货货期：3周

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产品介绍

Agilent 5517DL 5517系列双频氦氖激光头

5517DL属于Agilent 5517 系列双频氦氖激光头，是激光干涉测量系统的核心光源单元。5517DL采用塞曼分裂技术输出两路频差稳定的偏振激光光束，专门适配高速运动平台的高精度位移干涉测量系统，广泛搭载于半导体光刻设备、面板制造设备、高精度数控机床、坐标检测装置，常与干涉镜、反射镜、信号接收处理卡配套组建纳米级定位测控系统。

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主要作用

提供稳定双频激光光源：输出 633nm 高度相干双频激光，作为激光干涉仪测量基准光束；
生成参考频差信号：产生稳定频差，接收器通过参考光与测量光频差解算出位移、速度信息；
高速位移测量支撑：具备更高允许测量速度，满足光刻平台、直线电机高速往复定位场景；
长距离高精度测量：激光相干性优良，支持多轴、长行程纳米级位置实时监测；
设备闭环定位基准：为运动控制系统提供绝对位置反馈，实现平台精准定位与轨迹修正；
多轴系统扩展：光束可通过分光组件分出多路光路，实现单台激光头驱动多轴干涉测量；
波长基准溯源：具备优秀波长长期稳定性，保障整套测量系统精度一致性。

Agilent 5517DL 5517系列双频氦氖激光头

参数规格（仅供参考）

Item	Specification
Part Number	5517DL
Product Type	Dual-Frequency He-Ne Laser Head
Laser Medium	Helium-Neon (He-Ne)
Nominal Wavelength	632.991354 nm (vacuum)
Frequency Difference	≥ 4.4 MHz; Option 300: 5 MHz
Max Measuring Velocity	1.2 m/s (with linear interferometer)
Standard Beam Diameter	6 mm; Option 009: 9 mm
Beam Height	80.8 ± 1.0 mm
Min Output Optical Power	180 µW (120 µW after 3 years)
Max Output Optical Power	1 mW
Polarization	Linear Polarized
Warm-up Time	45 min (with forced ventilation)
Power Input	+15 VDC ±0.3 V, max 3.0 A; -15 VDC ±0.3 V, max 0.3 A
Weight	3.2 kg
MTBF	＞50000 hours typical
Wavelength Stability	±2 ppb (1 hour), ±20 ppb (lifetime)
Laser Safety Class	Class 2
Operating Temperature	10 ℃ ~ 40 ℃
Application	Laser Interferometer, Lithography, Flat Panel Equipment, Precision Motion Metrology
Successor Brand	Keysight (Agilent former)
Protection Class	IP20 (equipment cabinet installation)